真空泵范围

由于各种真空泵所具有的工作压强范围及起动压强均有所不同，因此在选用真空泵时必须满足这些要求。下表给出了各种常用真空泵的工作压强范围及泵的起动压强值，以供参用。
常用真空泵的工作压强范围及起动压强—————————————————————————— 真空泵种类 工作压强范围（Pa） 起动压强（Pa） 活塞式真空泵 1×105～1.3×102 1×105 旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105 水环式真空泵 1×105—2.7×103 1×105 罗茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103 涡轮分子泵 1.3—1.3×10-5 1.3 水蒸气喷射泵 1×105—1.3×10-1 1×105 油扩散泵 1.3×10-2—1.3×10-7 1.3×10 油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×10-2 <1.3×105 分子筛吸附泵 1×105—1.3×10-1 1×105 溅射离子泵 1.3×10-3—1.3×10-9 6.7×10-1 钛升华泵 1.3×10-2—1.3×10-9 1.3×10-2 锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×10-11 1.3×10 低温泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1